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昊源MSB雙極脈沖磁控濺射電源高可靠高性能開關(guān)電源
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發(fā)布時(shí)間:
2020/7/18 14:17:00 |
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電 話: |
86-0760-89935878 |
傳 真: |
86-- |
手 機(jī): |
18802599203 |
郵 編: |
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地 址: |
中山市石岐區(qū)海景工業(yè)區(qū)3、4、5號(hào)(4號(hào)樓4樓) |
網(wǎng) 址: |
http://zshaoyuan89935878.cn.vooec.com |
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公司名稱:中山市昊源電器設(shè)備有限公司 |
聯(lián) 系 人:劉小姐 女士 部門經(jīng)理 |
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昊源MSB雙極脈沖磁控濺射電源高可靠高性能開關(guān)電源 詳細(xì)說明 |
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主要特點(diǎn): A 采用先進(jìn)的電流型開關(guān)電源技術(shù),減小輸出儲(chǔ)能元件, 同時(shí)提高了抑制打火及重啟速度,應(yīng)用在鋁靶鍍膜優(yōu)勢更為明顯。 B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對(duì)于傳統(tǒng)的恒流模式, 更能保證鍍膜工藝的重復(fù)性。 C 具有理想的電壓陡降特性,自動(dòng)識(shí)別偽打火現(xiàn)象, 充分滿足磁控濺射工藝過程的連續(xù)性。 D 主要參數(shù)可大范圍調(diào)節(jié) E 可選擇手動(dòng)控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。 采用先進(jìn)的PWM脈寬調(diào)制技術(shù),使用進(jìn)口IGBT或MOSFET作為功率開關(guān)器件, 體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠,生產(chǎn)工藝嚴(yán)格完善。 該系列產(chǎn)品采用先進(jìn)的DSP控制系統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重復(fù)性, 并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有極佳的負(fù)載匹配能力,既保證了靶面清洗工藝的穩(wěn)定性,又提高了靶面清洗速度; 主要參數(shù)均可大范圍連續(xù)調(diào)節(jié); 方便維護(hù),可靠性高; PLC接口和RS485接口擴(kuò)展功能,方便實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
MSB系列雙極脈沖磁控濺射電源(中頻電源)
主要用途:
雙極脈沖磁控濺射電源用于中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料,特別適合于反應(yīng)磁控濺射。能增加離化率,減少電荷積累引起的異常放電,預(yù)防靶表面中毒現(xiàn)象。 本產(chǎn)品網(wǎng)址:http://m.s3643.cn/cpshow_216518091/ 手機(jī)版網(wǎng)址:http://m.vooec.com/product_216518091.html 產(chǎn)品名稱:昊源MSB雙極脈沖磁控濺射電源高可靠高性能開關(guān)電源 |
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