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刻蝕機冷卻水降溫設(shè)備 冷水機組
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| 發(fā)布時間：
2024/10/11 14:52:00 |
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電 話： |
86-0755-29084657 |
| 傳 真： |
86-0755-29084632 |
| 手 機： |
15889567386 |
| 郵 編： |
518105 |
| 地 址： |
深圳市龍崗區(qū)坪地街道年豐社區(qū)橫嶺中路1號第七棟 |
| 網(wǎng) 址： |
http://ninewells.cn.vooec.com |
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| 公司名稱：深圳市九井制冷設(shè)備有限公司 |
| 聯(lián) 系 人：李大紅 先生 銷售部經(jīng)理 |
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刻蝕機冷卻水降溫設(shè)備 冷水機組 詳細說明 |
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刻蝕機冷卻水降溫冷水機組
本機組為半導(dǎo)體行業(yè)刻蝕機循環(huán)水裝置冷卻水恒溫專用機型，助力于國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，能為國內(nèi)的半導(dǎo)體芯片制造業(yè)獻出我們現(xiàn)有的技術(shù)和服務(wù)，我們感到無上榮光。
產(chǎn)品特點
標準型：智能控制水溫5～30℃±1，
非標定制型：控制水溫 -50～85℃±0.3；控制水流1～1000L±0.03L；控制壓力0.1～10±0.04Mpa
控制器：PCL、觸摸屏，可連接上位機，遠程控制及手機APP控制。
機組俱備八大保護功能：電源相序保護裝置、漏電保護裝置、壓縮機過載保護裝置、電圈過熱保護裝置、高低壓保護裝置、缺水保護裝置、冷凍水流保護裝置、防凍保護裝置。
機組性能
多個壓縮機采用并聯(lián)設(shè)計，每組制冷系統(tǒng)自帶一個的制冷劑回路；制冷系統(tǒng)由PLC控制，逐個開、關(guān)機，單機故障率極低，確保制冷系統(tǒng)有著穩(wěn)定的性能，長年運行情況下之選。
冷卻裝置控溫原理
1．溫控機組的冷卻水進入水端流經(jīng)第一分水管件后分為第一水路和第二水路，使冷卻管內(nèi)達到充足的水流量，改善遠程等離子發(fā)生器的冷卻效果，減少在內(nèi)表面上生成的氣態(tài)物質(zhì)，有效降低凝結(jié)在晶圓表面的異常顆粒數(shù)量。
2．冷卻裝置的冷卻盤和冷卻板圍成一個冷卻腔,進液口和排液口設(shè)置在冷卻腔的底壁，其中，在冷卻腔內(nèi)設(shè)計阻礙水流的方式，阻礙冷卻水直接從進水口流向排水口,使冷卻液進入儲水槽及其周圍區(qū)域流動，讓冷卻液盡量流經(jīng)冷卻腔的整個區(qū)域,而不是直接從進液口流向排液口，可讓流入的冷卻液均勻地與冷卻板接觸，進行熱交換，冷卻裝置可均勻地推動冷卻液流動，使冷卻板得到充足的冷量。
3．冷卻結(jié)構(gòu)的離子束刻蝕機工作臺，固定在離子束刻蝕機的真空腔內(nèi)，傳動座和基片臺，在基片臺與傳動座之間形成與通水軸串聯(lián)連通的冷卻水循環(huán)裝置，通水軸分別連通進水管路和出水管路而與冷卻水道一起形成冷卻水回路，再與冷卻水溫控機組的進水管及出水管連接形成一個水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，有效基片臺的冷卻效果,提高了離子束刻蝕的均勻性。
產(chǎn)品質(zhì)量
凡是購買我公司設(shè)備的，在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備的其中一個零部件為二手偽劣產(chǎn)品的，我公司以假一賠十的方式對用戶進行賠償。在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備是以小充大或以次充好，用戶無條件退、換貨，所有費用我司承擔(dān)。
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://m.s3643.cn/cpshow_224468591/
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產(chǎn)品名稱：刻蝕機冷卻水降溫設(shè)備 冷水機組 |
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